Özel Yüksek Saflıkta Flanşlı Kuvars Tüp Proje Örneği | Yarı İletken CVD Tüp Fırını Vakum Reaktörü için Entegre Flanşlı Erimiş Silika Boru
Yayınlanmıştır: June 22, 2026
Proje Dosyası: Özel Yüksek Saflıklı Flanged Quartz Cam Tüp
Dava Özetleri
Bu dava, yabancı bir yarı iletken ekipman üreticisi için özel flanslı kuvars boru seri üretimiyle ilgilidir.CVD reaksiyon odası ve yüksek sıcaklıklı kaynatma fırını için entegre kuvars flanslı yüksek sıcaklığa dayanıklı erimiş silik borularTüp boyutu, fırça bülten delik düzeni, duvar kalınlığı ve yüksek sıcaklıklı gerginlik hafifletme katmanı dahil olmak üzere tam tek duruma özelleştirme sağladık.Uzun süredir devam eden boru hattı sızıntısı sorunlarını çözmek, yüksek kirlilik kirliliği ve termik döngü sırasında sık tüp çatlaklığı.
İşbirliğinden Önce Müşteri Ağrı Noktaları
- Orijinal borosilikat cam borular 900°C'den yüksek çalışma sıcaklığında deforme oldular, bu da flens eklemlerinin sızmasına ve dengesiz vakum ortamına neden oldu.
- Sıcak ve soğuk döngülerin tekrarlandığından sonra yalıtım yapmadan sıradan kaynaklı kuvars borular kolayca çatlar, yüksek değişim maliyeti ve üretim duraklama kaybı.
- Flanşların kontrol edilemeyen boyut toleransı, müşterinin metal mühürleme armatürleriyle kötü uyum, düşük işleme verimi.
- Düşük saflıklı kuvars hammaddesi, wafer işleme hassasiyetini etkileyen metal iyon kirliliği getirdi.
Özel Kwarts Flanş Tüp Çözümümüz
- Malzeme Seçimi: Düşük hidroksil içeriği ile% 99.99 sentetik yüksek saflıklı erimiş silikon kullanın, metal kirlilikleri yoktur, yarı iletken ultra temiz süreçle uyumludur.
- Entegre Sıcak Kaynak Flanş: Tüp gövdesinin tek / her iki ucunda da entegre füzon kuvars flans, yüksek dayanıklı kaynak dikişi, iç gerilimi ortadan kaldırmak için tamamen küvetlenmiş, termal şoka karşı dayanıklı.
- Hassas CNC İşleme: Özel dış çap, duvar kalınlığı, boru uzunluğu, flens dış çapı, vida deliği konumu ve açıklığı, sıkı bir toleransla ±0.02mm.
- Yüzey Tedavisi: Ateşle cilalanmış iç ve dış boru duvarı, kabarcıklar, çizikler veya mikro çatlaklar olmadan pürüzsüz, mükemmel UV ve görünür ışık geçirgenliği.
- Yapısal özelleştirme: Müşteri çizim gereksinimlerine göre tek flange, çift flange, kapalı kubbe tabanı, kalın duvarlı yüksek basıncaya dayanıklı yapıyı destekleyin.
Teslimat ve Gerçek Çalışma Etkisi
Örnek onayını, deneme siparişini ve seri üretimi 12 iş günü içinde tamamladık, tam boyutlu incelemeyi, yüksek sıcaklıklı yaşlanma testini ve nakliye öncesi vakum sıklığı testini tamamladık. Müşteri kurulumundan ve uzun süreli sürekli çalışmadan sonra:
- Yüksek vakum ve 1150°C sürekli çalışma sıcaklığında sıfır sızıntı;
- 100'den fazla termal döngü testinden sonra çatlama yok, kullanım ömrü 3 kattan fazla artmıştır;
- Sıfır kirlilik yağışı, wafer ürününün verimi %16 arttı;
- Standart flens boyutu, müşteri'nin mevcut sıkıştırma ve mühürleme parçalarına mükemmel bir şekilde uydu ve ekipmanın montaj süresini büyük ölçüde azalttı.
